東北大学ナノテク融合技術支援センター

Home＞東北大学マイクロシステム融合研究開発センター　試作コインランドリ

マイクロシステム融合研究開発センター　試作コインランドリ

平成22年度より東北大学マイクロシステム融合研究開発センターの試作コインランドリと協力して皆様を支援することとなりました。
皆様の研究・開発にどうぞご利用下さいませ。
詳細は下記リンク先よりご確認下さい。

東北大学西澤潤一記念研究センター（旧半導体研究所）においてMEMSを中心とした半導体試作開発ライン（4、6インチ）を開放しています。試作開発設備がなくて困っている企業等が技術者を派遣して自ら試作することで、開発のリスク、コストを軽減できます。

フォトマスク作製装置、両面アライナ、EB描画装置、酸化拡散炉、LPCVD（poly-Si、SiN、SiO2）、PECVD（SiN、SiO2）、蒸着装置、スパッタ装置、Deep RIE、ドライエッチング装置（Si、SiN、SiO2）、接合装置

CINTS窓口を通して、上記の装置が利用できます。お問合わせ・申請はCINTS事務局まで