CINTS支援装置一覧
◆ナノ計測 ◆超微細加工 ◆分子合成 ◆極限環境（強磁場）
| ナノ計測・分析 |
分野 |
装置No. |
装置名 |
型式 |
|
1-1 |
超高圧超高分解能透過電子顕微鏡 |
JEM-ARM-1250 |
1-2 |
400kV 高分解能電子顕微鏡 |
JEM-4000EX |
1-3 |
300kV 電界放射型透過電子顕微鏡 |
JEM-3000F |
1-4 |
300kV 高分解能電子顕微鏡 |
JEM-3010 |
1-5 |
- |
- |
1-6 |
サブオングストローム分解能分析電子顕微鏡
|
FEI-Titan80-300 |
1-7 |
デュアルビーム型集束イオンビーム加工装置
|
FEI-Quanta3D |
1-8 |
イオンミリング装置 |
IonMill-1010 |
1-9 |
超高分解能電界放出型走査電子顕微鏡 |
SU8000 |
| 超微細加工 |
所属 |
装置No. |
装置名 |
型式 |
|
2-1 |
リソグラフィ用両面アライナ |
Suss Microtech, EVG |
2-2 |
スピンナ |
- |
2-3 |
TMAHエッチング装置 |
自作 |
2-4 |
EDPエッチング装置 |
自作 |
2-5 |
KOHエッチング装置 |
自作 |
2-6 |
酸化炉 |
自作 |
2-7 |
ボロン拡散炉 |
自作 |
2-8 |
陽極接合用ウェハボンダ |
Suss Microtech、EVG |
2-9 |
RIE装置 |
自作, STS, アネルバ |
2-10 |
スパッタ成膜装置 |
自作 |
| 分子・物質合成 |
所属 |
装置No. |
装置名 |
型式 |
|
3-1 |
核磁気共鳴装置 |
JMN−AL400 |
3-2 |
質量分析装置 |
APEX-3 |
3-3 |
４軸X線結晶構造解析装置 |
Saturn CCD |
| 極限環境（強磁場） |
所属 |
装置No. |
装置名 |
型式 |
|
4-1 |
ESR-P |
35GHz-7THz |
4-2 |
ESR-S |
20GHz-0.4THz |
4-3 |
磁場中結晶成長 |
電気炉(<1200℃)
恒温槽(<70℃) |
4-4 |
CHM |
27T(32mm室温ボア)
24T(52mm室温ボア) |
4-5 |
20T-SM |
20T-38mm |
4-6 |
15T-SM |
15T-50mm |
4-7 |
18T-CSM |
18T-38mm |
4-8 |
15T-CSM |
15T50mm室温 |
4-9 |
10T100-CSM |
10T100mm室温 |
4-10 |
8T220-CSM |
8T220mm室温 |
4-11 |
6T220-CSM |
6T220mm室温 |
4-12 |
5TCSSM |
自作 |
4-13 |
磁化率測定装置 |
- |
