東北大学ナノテク融合技術支援センター
Center for Integrated NanoTechnology Support
No. |
1-1 |
1-2 |
1-3 |
画像 |
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名称 |
超高圧超高分解能 透過電子顕微鏡 |
400kV 高分解能電子顕微鏡 |
300kV 電界放射型透過電子顕微鏡 |
メーカー |
日本電子（株） |
日本電子（株） |
日本電子（株） |
型式 |
JEM-ARM-1250 |
JEM-4000EX |
JEM-3000F |
特徴 |
 加速電圧 1250kV の超高圧超高分解能電子顕微鏡点分解能は 0.102nmローレンツ顕微鏡像観察、加熱その場観察が可能 |
加速電圧 400kV点分解能 0.18nmEDX搭載比較的厚い試料の高分解能観察 |
加速電圧 300kV点分解能 0.1nm電界放射銃を有する EDS分析 および HAADF観察 が可能 |
No. |
1-4 |
1-6 |
1-7 |
画像 |
 画像準備中 |
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名称 |
300kV 高分解能生電子顕微鏡 |
サブオングストローム 分解能分析電子顕微鏡 |
デュアルビーム型集束 イオンビーム加工装置 |
メーカー |
日本電子（株） |
FEI |
FEI |
型式 |
JEM-3010 |
Titan80-300 |
Quanta3D |
特徴 |
- |
加速電圧 300kV点分解能 sub-Angstron球面収差補正による干渉縞の少ない原子配列の観察が可能サブオングストロームレベルでの３D特性決定機能 |
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No. |
1-8 |
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画像 |
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名称 |
イオンミリング装置 |
超高分解能電界放出型 走査電子顕微鏡 |
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メーカー |
Fischione |
日立 |
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型式 |
IonMill-1010 |
SU8000 |
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特徴 |
TEM用試料の高精度イオン加工と研磨 液体窒素による試料の冷却も可能
エネルギー可変加工オイルフリーの真空システム |
最表面の組成、回折コントラストを捉えるTop検出器極表面観察時の信号検出能力が更に強化
絶縁物試料の帯電抑制機能 |
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| 試料作成／画像解析用機器 | ||||
画像 |
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画像準備中 |
名称 |
ディンプルグラインModel656 |
ハンディラップ
日本電子（株） |
フィルムスキャナー
/ 画像出力 |
精密カッター |
※装置1-5は移管の為リストより削除（H21)
